北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺，采用無磁材料制成，采用亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間多維磁場。線圈可采用自然冷卻（磁場較?。┗蛩浣Y(jié)構(gòu)（磁場較大），標(biāo)配線圈過熱保護(hù)裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時(shí)間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動(dòng)樣品臺，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個(gè)高精度探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

參數(shù)概述：

可以進(jìn)行真空環(huán)境中的高低溫測試（10K~325K）。磁場強(qiáng)度在x軸上為0.75T，在Y軸上為0.75 T，在z軸上為0.4T。

磁場均勻性：中心區(qū)域60mm球體內(nèi)為1%。

三種高精度直流電源：穩(wěn)定性±25ppm

磁場分辨率：0.05 MT

角度分辨率：0.02°

樣品固定方式：低溫探頭

樣品臺直徑：20mm，可定制

顯微鏡：10.Y平面2*2英寸，精度2μm，Z軸行程≥30.8mm，

放大倍數(shù)：16~100x/20~4000x

探針臂數(shù)量：4個(gè)。可選擇的

探針臂行程：12mm，可更換

探針臂移動(dòng)精度：25μM可選

探頭長度：38mm

探頭直徑：0.51mm

針尖直徑：1μm

探頭材料：鎢/鈹銅/GGB

泄漏精度：100fa低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺采用高純度無氧銅，溫度均勻性較好。

溫度傳感器采用穩(wěn)定性和重復(fù)性好的硅二極管作為溫度測量裝置，支持光纖光譜特性測試，與高倍率顯示鏡兼容，可以微調(diào)和移動(dòng)，設(shè)備的高頻特性（支持高達(dá)40GHz的頻率），探針散熱器設(shè)計(jì)，LD/LED/PD光強(qiáng)/波長測試、自動(dòng)流量控制、材料/器件的IV/CV特性測試等。

住友415D制冷機(jī)

1.低溫冰箱

2.壓縮機(jī)：f50h

3.冷卻方式：水冷

4.制冷功率：15W@77K ， 1W@4.2K5.*低溫度：4K

低溫控制器Lake shore336

技術(shù)指標(biāo)：

◆ 測量范圍：1.4k-500k

◆測量精度：*佳測量精度可達(dá)10mk

◆測量范圍：使用合適的NTC RTD傳感器，測量范圍可低至300mk

◆輸入通道：標(biāo)配四個(gè)傳感器輸入通道，*多可擴(kuò)展到8個(gè)，每個(gè)通道都有獨(dú)立的溫度曲線

◆傳感器兼容性：二極管溫度傳感器，cernox溫度傳感器，鉑電阻溫度傳感器，熱電偶傳感器等。