半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展日新月異，涉及到我們生活的方方面面，如智能手機(jī)、平板電腦、地鐵、汽車等等。隨著應(yīng)用的不斷深入，對(duì)于半導(dǎo)體材料表征的要求也越來(lái)越高，而霍爾效應(yīng)測(cè)試表征能直接測(cè)試出材料的電阻率、遷移率和載流子濃度及類型等，高精度的霍爾表征就變得尤為重要。

目前市面的霍爾測(cè)試主要分為直流霍爾測(cè)試、交流磁場(chǎng)霍爾測(cè)試、快速霍爾測(cè)試三種方法。

1、直流（DC）霍爾測(cè)試

一種比較通用的技術(shù)，對(duì)于霍爾測(cè)試而言，霍爾電壓的測(cè)量至關(guān)重要。通常儀器測(cè)的電壓中包含霍爾電壓、偏置電壓、熱電壓等。普通的半導(dǎo)體材料的霍爾電壓很大，偏置電壓、熱電壓等誤差信號(hào)占比很小，所以分辨出霍爾電壓比較容易。傳統(tǒng)的儀表都采用這種測(cè)量方式，如Lake Shore的8400系列，Ecopia的HMS3000、HMS5000、HMS7000，Nanometrics的HL5500、HL9900、MMR的H5000，還有客戶自己搭建的霍爾測(cè)試平臺(tái)。

2、交流磁場(chǎng)（AC）霍爾測(cè)試

對(duì)于低遷移率等材料，霍爾電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于誤差電壓，用傳統(tǒng)的直流磁場(chǎng)的方式測(cè)試很難測(cè)準(zhǔn)確，AC交流磁場(chǎng)測(cè)試方法可以利用鎖相放大器提取霍爾電壓并將信號(hào)放大，再通過(guò)高精度的電壓表將霍爾電壓進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。這種方式可測(cè)得的材料的遷移率低至10-3cm2/v s。市面上采用AC交流磁場(chǎng)測(cè)試方法的儀器有Lake Shore的8400系列（加AC交流磁場(chǎng)選件）霍爾測(cè)試系統(tǒng)，系統(tǒng)測(cè)試功能強(qiáng)大，可以根據(jù)樣品需求選擇高溫、低溫、高阻、低阻、偏壓等選件，但需匹配電磁鐵，價(jià)格相對(duì)較高。

3、快速霍爾測(cè)試技術(shù)（FastHall）

美國(guó)Lake Shore公司的新*利，其產(chǎn)品是M91快速霍爾測(cè)試儀。FastHall不需要像上述兩種方法一樣通過(guò)翻轉(zhuǎn)磁場(chǎng)去除偏置電壓誤差。FastHall基于互易定理，利用旋轉(zhuǎn)電流的方式達(dá)到和反轉(zhuǎn)磁場(chǎng)一樣的效果，大大提高測(cè)試速度，而極快的測(cè)試速度可以有效避免溫度和偏置電壓的影響，使測(cè)試更精確。M91還具備直流測(cè)試功能，并能夠與您已有的永磁鐵、電磁鐵、超導(dǎo)磁體配合使用。例如和各個(gè)廠家的超導(dǎo)磁體，PPMS等設(shè)備進(jìn)行連用，在高磁場(chǎng)及低溫下進(jìn)行快速的霍爾測(cè)試。