高低溫探針臺T8-LY100能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個80K-420K高低溫測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于低溫環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

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技術(shù)參數(shù)：

1、真空腔體約直徑260mm，

2、帶有4英寸高透射觀察窗，材質(zhì)熔融石英

3、樣品載臺直徑：50mm 樣品載臺平整度<5微米

4、溫度范圍：80K-420K，控溫儀精度：0.1-0.5K

5、X-Y-Z行程范圍：±25mm*±25mm*0-12.5mm線性運動，位移精度：1um

6、預(yù)留光纖接入口做光響應(yīng)測試

7、預(yù)留四個探針座的接口

8、探針長度38mm，直徑0.5mm，針尖直徑1um

9、兩套CCD相機(jī)（能看清1-2um）

10、耦合一套四軸應(yīng)變裝置（定制）

11、三同軸射頻接口：4只，外接三同軸連接線雙向公頭，長度 2米

13、真空抽口KF50

14、重量：75kg